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3、本文研究了不锈钢室温化学抛光液的组成和工艺参数。
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8、在简述化学机械抛光技术的基础上,提出化学机械抛光过程中,受载的粗糙峰和被抛光的晶片表面之间存在一纳米量级的薄流体膜,形成了纳米级薄膜流动系统。
9、一百十七、这些黄色的复合体抛光器具有超柔软的特殊硅胶带和超精细金刚砂。
10、并通过实验详细研究了磁流体辅助抛光后工件的抛光区形状,以及抛光区内表面粗糙度情况。
