1、提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。
2、发育良好,土表下有一层粘土淀积土层.
3、还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
4、给出了不同衬底温度下淀积薄膜中硼深度分布的一些特征。
5、揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
6、一种化学汽相淀积过程,发生在适度的温度下.
7、结果表明,离子辅助淀积对金属膜性能的改善与对介质膜性能的改善一样显著。
8、第8层古土壤特殊的厚层淀积代表了气候的多次变化和多个成壤期。
9、其中着重描述了反应腔对反应温度,反应压力和气体流量的控制方法,以及测量设备对淀积薄膜性能的测量原理。
10、目标是通过研究反应流量、表面迁移率及反应能量等分子构成级的薄膜淀积工艺,克服对高热能输入的依赖。
