1、还详细讨论了卤素原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
2、给出了不同衬底温度下淀积薄膜中硼深度分布的一些特征。
3、这种淀积反应器很容易达到适应125或150mm的基片.
4、目前,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域.
5、一种化学汽相淀积过程,发生在适度的温度下.
6、衬底温度决定原子的表面迁移率,衬底温度是影响淀积的铝膜的均匀性和台阶覆盖能力的主要因素。
7、结果表明,离子辅助淀积对金属膜性能的改善与对介质膜性能的改善一样显著。
8、严酷的,枫的颜色,领略岁月的磨砺,寒霜的敲击坚强如铁,饱经生命的惊涛骇浪,从容如磐,飞跃梢头那鲜红的高度。霜染的两鬓,淀积着,生命的成熟。
9、其中着重描述了反应腔对反应温度,反应压力和气体流量的控制方法,以及测量设备对淀积薄膜性能的测量原理。
10、目标是通过研究反应流量、表面迁移率及反应能量等分子构成级的薄膜淀积工艺,克服对高热能输入的依赖。
